(资料图)

什么是刻蚀机？先简单说一下名称，大家叫“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”。

等离子体刻蚀设备的结构示意图

刻蚀机腔体

图源：NGK

聚焦环

绝缘环

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