集成MEMS微振镜的3D相机,让智能装备看得“清”

2023-05-22 06:11:29    来源 : 面包芯语


(资料图)

▲左上:高精度MEMS微振镜芯片;右上:模组(部分);下:投影模块。受访单位 供图

而这“眼睛”的制造者之一,就是北京理工大学重庆微电子研究院的科研人员。

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